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新型压力变送器提高了真空沉积应用中的稳定性

压力控制器为外部真空计提供电源,并兼容所有仪表技术,包括离子,皮拉尼和冷阴极以及有源或无源仪表和组合仪表。
集成真空控制器(IVC)不再有节流阀体积
对于没有现有真空计的小型实验和项目,Alicat IVC就是解决方案。与压力变送器一样,它减少了传统节流阀压力控制方法的体积,复杂性和费用。我们将真空传感器直接集成到设备中,从而可以立即控制真空室中的压力。我们的传感器能​​够以高精度到低范围运行,低至10毫托。Alicat IVC还包括直接来自设备的PID控制,以及气动隔离传感器 - 与市场上的其他解决方案相比,确保更高的精度 - 精确测量腔室和气体好立性。
在真空涂层应用中将压力控制装置放置在腔室的上游节省了时间,成本并提高了真空沉积工具的精度。

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